HDI定義HDI：high Density interconnection的簡稱，高密度互連，非機械鉆孔，微盲孔孔環(huán)在6mil以下，內(nèi)外層層間布線線寬/線隙在4mil以下，焊盤直徑不大于0.35mm的增層法多層板制作方式稱之為HDI板。
 
盲孔：Blind via的簡稱，實現(xiàn)內(nèi)層與外層之間的連接導(dǎo)通埋孔：Buried via的簡稱，實現(xiàn)內(nèi)層與內(nèi)層之間的連接導(dǎo)通盲進(jìn)孔大都是直徑為0.05mm~0.15mm的小孔，埋盲孔成孔方式有激光成孔，等離子蝕孔和光致成孔，通常采用激光成孔，而激光成孔又分為CO2和YAG紫外激光機（UV）。
 
二．HDI板板料1.HDI板板料有RCC,LDPE,FR41)RCC:Resin coated copper的簡稱，涂樹脂銅箔。RCC是由表面經(jīng)粗化、耐熱、防氧化等處理的銅箔和樹脂組成的，其結(jié)構(gòu)如下圖所示：（厚度>4mil時使用）RCC的樹脂層，具備與FR一4粘結(jié)片(Prepreg)相同的工藝性。此外還要滿足積層法多層板的有關(guān)性能要求，如：
 
(1)高絕緣可靠性和微導(dǎo)通孔可靠性；
 
(2)高玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)；
 
(3)低介電常數(shù)和低吸水率；
 
(4)對銅箔有較高的粘和強度；
 
(5)固化后絕緣層厚度均勻同時，因為RCC是一種無玻璃纖維的新型產(chǎn)品，有利于激光、等離子體的蝕孔處理，有利于多層板的輕量化和薄型化。
 
另外，涂樹脂銅箔具有12pm，18pm等薄銅箔，容易加工。2)LDPE:3)FR4板料：厚度<=4mil時使用。使用PP時一般采用1080, 盡量不要使用到2116的PP2. 銅箔要求：當(dāng)客戶無要求時，基板上銅箔在傳統(tǒng)PCB內(nèi)層優(yōu)先采用1 OZ，HDI板優(yōu)先使用HOZ，內(nèi)外電鍍層銅箔優(yōu)先使用1/3 OZ。
 
圖片
 
三．鐳射成孔:CO2及YAG UV激光成孔鐳射成孔的原理：鐳射光是當(dāng)“射線”受到外來的刺激，而增大能量下所激發(fā)的一種強力光束，其中紅外光或可見光者擁有熱能，紫外光則另具有化學(xué)能。射到工作物表面時會發(fā)生反射（Refliction）吸收（Absorption）及穿透（Transmission）等三種現(xiàn)象，其中只有被吸收者才會發(fā)生作用。而其對板材所產(chǎn)生的作用又分為光熱燒蝕與 光化裂蝕兩種不同的反應(yīng)。1.YAG的UV激光成孔：可以聚集微小的光束，且銅箔吸收率比較高，可以除去銅箔，可燒至4mil以下的微盲孔，與CO2激光成孔在孔底會殘留樹脂相比其孔底基本不會殘留有樹脂，但卻容易傷孔底的銅箔，單個脈沖的能量很少，加工效率低。（YAG、UV：波長：355的，波長相當(dāng)短，可以加工很小的孔，可以被樹脂和銅同時吸）不需要專門的開窗工藝2.CO2激光成孔：采用紅外線的CO2鐳射機，CO2不能被銅吸收，但能吸收樹脂和玻璃纖維，一般4~6mil的微盲孔。
 
其成孔方式如下：
 
A. 開銅窗法Conformal Mask是在內(nèi)層Core板上先壓RCC然后開銅窗，再以鐳射光燒除窗內(nèi)的基材即可完成微盲孔。詳情是先做FR-4的內(nèi)層核心板，使其兩面具有已黑化的線路與靶標(biāo)（Target Pad），然后再壓合，接著根據(jù)蝕銅窗菲林去除盲孔位置對應(yīng)銅皮再利用CO2鐳射光燒掉窗內(nèi)的樹脂，即可挖空到底墊而成微盲孔。（銅窗與盲孔大小一致）此法原為“日立制作所”的專利，一般業(yè)者若要出貨到日本市場時，可能要小心法律問題。
 
B. 開大銅窗法Large Conformal mask所謂“開大窗法”是將銅窗擴大到比盲孔單邊大1mil左右。一般若孔徑為6mil時，其大窗口可開到8mil。我司采用此方法作業(yè)。
 
四．鐳射鉆孔盲埋孔作業(yè)流程以1+2+1作例講解（下圖為其圖示）
 
制作流程：開料----開大銅窗----鉆L2~L3埋孔-----除膠渣------電鍍埋孔------樹脂塞孔-----內(nèi)層圖形-----壓合------L1-2&L4-3層 Large Windows（銅窗比盲孔孔徑單邊大1mil）（蝕刻）------- L1-2&L4-3層 鐳射鉆盲孔-------除膠渣兩次-------電鍍盲孔（脈沖電鍍）------樹脂塞孔-------磨板+減銅------機械鉆通孔-----正常流程2+4+2流程開料→L3~6層圖形→壓合→開大銅窗→L23&L76層Laser埋孔→L26機械鉆孔→除膠渣→電鍍埋孔→樹脂塞孔-----L2，L7層圖形→壓合→開大銅窗 →L12&L87層Laser→除膠渣-----電鍍盲孔-----樹脂塞孔----磨板+減銅----機械鉆孔----正常流程